超快激光精细加工实验室有千级洁净室1间、飞秒激光器（脉宽<35fs）、μLab微加工平台、Thorlab光学抗振台等，可以开展光电功能材料微纳结构加工与应用研究，特别是碳化硅、氮化镓等新一代半导体材料的超精细加工等方向研究。